微波氢等离子刻蚀脱碳预处理对金刚石涂层刀具功能的影响

　　摘要：选用EACVD法在硬质舍金(YC茹)7J具衬底上堆积金刚石薄膜，用氢微波等离子体刻蚀的办法对衬

　　底进行外表预处理．研讨了该项预处理技能对WC硬质台金村底外表成分的影响，“及对所褫积金刚石薄膜的

　　附着力、外表描摹、薄膜质量以及外表粗糙度的影响等同题。经过对难加工资料实践切削实验，研讨了所制各的

　　金刚石薄膜涂层刀具的切削功能。实验依据成果得出，微波等离子体刻蚀脱碳处理是进步金刚石薄膜附着力和改进

　　cm2，衬底外表温度为700～850℃，灯丝与衬底间隔5mm。堆积时问5 小时，涂层厚度

　　圈 2 等膏子刻蚀处理村雇堆积金刚石薄膜外表描摹 期，细化了的再结晶w 又再次碳化，构成新的比原

　　落现象．阐明薄膜涂层附着力杰出(见图4b、c)。随 着微波功率和刻蚀脱碳时刻的添加，对应预处

　　以看出，金刚石薄膜没发生显着的掉落，磨损首要 相越多。 是由SiC 颗粒对金刚石薄膜外表的接连摩

　　形成的磨粒磨损。未脱碳处理制备的金刚石涂层刀 碳预处理能显着进步金刚石薄膜涂层的附着力，由