ITO镀膜玻璃、薄膜激光刻蚀工艺优缺点对比_元禄光电

发布时间: 2025-02-20 作者:研发力量

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  皮秒紫外激光铜箔激光打孔机,可针对不一样厚度的铜箔进行打孔,铜箔打孔孔径可控制50微米内,包括通孔、盲孔工艺制程制作,可对多层材料表面铜箔进行微加工处理,包括铜箔激光切割、激光开槽、激光刻蚀等应用。

  飞秒激光刻蚀设备适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉等导电金属、氧化物材料激光刻蚀。也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。同时,适用于其他多层材料超细线宽激光刻蚀加工,如不锈钢网上的PI膜刻蚀、玻璃基材上PI膜刻蚀、不锈钢光栅划线等应用。

  微细精密超快激光加工系统设备,大多数都用在微精密加工,超精密切割、钻孔、刻蚀、标记。如超薄合金金属材料切割、导电薄膜材料刻蚀等

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  武汉元禄光电技术有限公司系高新技术企业,立足于光谷,是一家光电技术及应用研究开发的高科技激光设备制造商,18年来始终致力于激光微细加工技术及设备的研发和制造。

  主要体现在三个方面,一是刻蚀划线、二是钙钛矿电池烧结、三是钙钛矿电池封装。刻蚀划线:主要是应对导电层、钙钛矿层、电极层刻蚀、划线以及清边处理;

  目前钙钛矿电池的最严重的问题是稳定性问题,需要从材料、理论研究等方向持续努力,我们大家都知道总有一天钙钛矿电池的大规模商用可以在一定程度上完成,但我希望来的这一天越早越好!

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  ITO是一种N型的氧化物半导体,中文名为氧化铟锡,因为其导电性、透光率较好常用于玻璃或柔性材PET基材上的导电氧化物,用于触摸屏、光伏、冷光片、传感器、电致色玻璃、发光玻璃等行业。通常情况下利用平面磁控技术在玻璃或柔性PET等材料上溅射ITO材料,并通过高温退火处理得到ITO镀膜玻璃或薄膜材料。

  而ITO镀膜玻璃或薄膜原材料由于是一整块都是ITO材料,应用到触控面板、显示面板、太阳能电池、微电子、光电子等领域中就需要对其来加工,形成特定线路图,而对ITO材料的初加工工艺成了关键环节。

  ITO镀膜玻璃或薄膜的材料线路成型加工主要有黄光曝光、化学蚀刻、等离子蚀刻以及激光刻蚀设备。

  黄光曝光加工效果好,速度快,缺点是要使用到掩膜版,ITO线路要求有的多达数千种,每一种都需要掩膜版,这对设计加工的成本过高,就是存储也会浪费大量的空间,因此黄光曝光工艺目前只保留在特别的条件领域中使用。

  化学蚀刻加工速度高,效果好,缺点是大量的化学试剂对人体和环境会造成污染,特别是在当今社会中人与自然的协调愈加重要,环境问题已加以限制,并控制在一些范围内。当然化学蚀刻也有技术工艺缺点随着下游产品对ITO镀膜材料的要求慢慢的升高,超细线宽的ITO材料化学蚀刻工艺已感到力不从心。

  等离子蚀刻效果和速度都非常理想,不过工艺流程较为复杂,洒家也不太明白具体的工艺流程,想想晶圆的制作流程,想来大家也知道了其复杂程度。不过相比较于ITO镀膜材料的加工,等离子蚀刻设备还是小儿科了,很容易实现,也有简易版的适用于ITO材料,相比较而言等离子刻蚀的成本相对较高。

  激光刻蚀设备是目前的主流ITO刻蚀工艺,适用于柔性pet以及玻璃上的导电ITO激光刻蚀,优点是工艺流程简单,导入CAD图纸即可相机自动定位加工,一次性成型,对环境无污染,无掩膜版,只用消耗电力,并且易于自动化,加工尺寸可超过3m以上,优势显而易见。目前ITO材料刻蚀的线宽要求慢慢的升高,传统的纳秒红外激光刻蚀机的最小线微米,而随着激光技术的进步,ITO材料刻蚀最小线微米以下,可保持与ITO材料应用行业需求的发展同步。

  ITO激光刻蚀机必不可少,武汉元禄光电专业生产激光刻蚀设备,拥有丰富的经验、过硬的技术,欢迎各位前来洽谈了解。

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